[发明专利]一种具有布拉格反射栅结构的体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110681639.0 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113411065A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴伟敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市封神微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 杭州昊泽专利代理事务所(特殊普通合伙) 33449 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有布拉格反射栅结构的体声波谐振器，包括衬底、布拉格反射层和压电三明治结构；压电三明治结构由上到下依次为上电极、压电层与下电极；布拉格反射层置于衬底上，压电三明治结构置于布拉格反射结构上；布拉格声反射层由低声阻抗层与高声阻抗层交替堆叠形成，布拉格反射层的每一层中均嵌入散射体形成声子晶体，嵌入布拉格反射层的散射体与布拉格反射层共同构成器件底部声反射层；低声阻抗层中的散射体和高声阻抗层均为高声阻抗材料，高声阻抗层中的散射体和低声阻抗层均为低声阻抗材料。本发明利用声子晶体在禁带范围内对纵波与剪切波的高反射率特性，极大减少器件从布拉格泄露到衬底中的能量，提高器件Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 布拉格 反射 结构 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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