[发明专利]一种抑制能量泄露和寄生的高Q值薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202110682234.9 | 申请日： | 2021-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN113381722A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 吴伟敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市封神微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 杭州昊泽专利代理事务所(特殊普通合伙) 33449 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抑制能量泄露和寄生的高Q值薄膜体声波谐振器，在衬底上刻蚀有空腔，空腔上覆盖有下电极；衬底上位于下电极周围沉积下部声反射层，且下部声反射层与下电极接触；下部声反射层以及下电极上沉积压电层，压电层上沉积上电极和上部声反射层；上部声反射层位于上电极周围，并与上电极接触；压电层中刻蚀出到下电极上表面的通孔一，压电层和下电极中刻蚀出到牺牲层上表面的通孔二；通孔一中以及压电层上远离上电极的方向上沉积接触电极；接触电极与下电极相连。本发明的下部声反射层有效减小纵向声波和横向声波的耦合，减少谐振器的寄生；上部声反射层抑制能量从纵波传递到横波，提高谐振器Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 能量 泄露 寄生 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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