[发明专利]一种铪基铁电存储器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110683895.3 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113437049B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 朱颢;陈佩瑶;刘逸伦;曹园园;孙清清 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/11507;H01L21/02;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种铪基铁电存储器及其制备方法。该铪基铁电存储器包括多个铪基铁电存储器单元，所述铪基铁电存储器单元包括：衬底；底电极，形成在所述衬底上；铪基铁电体，其为经退火后的铪铝氧薄膜，形成在所述底电极上；顶电极，形成在所述铪铝氧薄膜上。基于高质量的铁电HAO薄膜形成非易失性铁电存储器单元，实现了长期保持，高耐用性和稳定的存储特性，以及高剩余极化强度，并利用多个铪基铁电存储器单元搭建逻辑电路，实现了存算一体的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铪基铁电 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110683895.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
