[发明专利]具有隔离阴极和公共阳极的垂直腔面发射激光器阵列在审
| 申请号： | 202110684581.5 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113904214A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 赵国为;M·G·彼得斯;杨军;E·R·赫格布洛姆 | 申请（专利权）人： | 朗美通经营有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/042 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈茜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种垂直腔面发射激光器阵列(VCSEL)阵列可以包括n型衬底层和在n型衬底层的底部表面上的n型金属。n型金属可以形成用于一组VCSEL的公共阳极。VCSEL阵列可以包括在n型衬底层的顶部表面上的底部镜结构。底部镜结构可以包括一个或多个底部镜部分和反转底部镜结构内的载流子类型的隧道结。VCSEL阵列可以包括底部镜结构上的有源区，以及氧化层，以提供光学和电学限制。VCSEL阵列可以包括在有源区上的n型顶部镜、在n型顶部镜上方的顶部接触层和在顶部接触层上的顶部金属。顶部金属可以形成VCSEL阵列的隔离阴极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隔离 阴极 公共 阳极 垂直 发射 激光器 阵列 | ||
【主权项】：
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