[发明专利]一种镀膜厚度光学控制装置和方法有效
| 申请号： | 202110685733.3 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113403601B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 柳存定;黎明;杨伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 张乾桢 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜厚度光学控制装置和方法，所述的装置包括一个及以上不同波长的激光器、用于不同波长激光分束和合束的分光光学元件、散射板、驱动电机、透镜、多模光纤、光功率计、光控测试片、以及镀膜夹具。激光经过受驱动电机驱动而旋转的散射板转化为准相干光，准相干光经透镜聚焦进入多模光纤，传输至镀膜机，并经透镜准直后入射至光控测试片，透射光经透镜聚焦后进入第二多模光纤，在光纤出口经准直和分光，利用光功率计分别测量不同波长的出射光的功率，监控光控测试片上不同波长光的透射率，实现镀膜厚度的控制。薄膜厚度光学控制装置具有结构简单，安装方便，监控光源线宽窄的特征，可实现高精度光学薄膜镀膜过程的厚度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 厚度 光学 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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