[发明专利]探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法在审
| 申请号： | 202110687515.3 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN114486729A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 小野田有吾;繁野雅次;上野利浩 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 崔成哲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在照相机(25)拍摄的图像中取得第一激光(D1)的第一激光像的位置。控制部(35)驱动移动机构(30)和第一转动部(31)中的至少一方使得第一激光像的位置接近悬臂(3)的规定位置。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 显微镜 以及 光轴 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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