[发明专利]一种外腔窄线宽激光器有效
| 申请号： | 202110688731.X | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113410755B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 陈少康;陈伟;徐长达;王健;齐艺超;班德超;穆春元;李明;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14;H01S5/065;H01S5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种外腔窄线宽激光器，包括热沉、芯片、电极、耦合透镜、多模干涉波导结构以及反射结构，热沉上端面形成有一沿左右向延展的安装区；芯片设于所述安装区内；电极设于所述芯片的上方；耦合透镜设于所述安装区内，并位于所述芯片的右侧；多模干涉波导结构包括若干个单模波导和若干个多模波导，若干个所述单模波导和若干个所述多模波导沿光轴依次交替设于所述安装区内，并位于所述耦合透镜的右侧；反射结构设于所述安装区内，并位于所述多模干涉波导结构的右侧。其中芯片提供光增益，多模干涉级联外腔与反射镜组成外腔反馈系统，起到选模和压窄线宽的作用，可以实现单模输出并且压窄线宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外腔窄线宽 激光器 | ||
【主权项】：
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