[发明专利]一种二维材料的转移方法有效
| 申请号： | 202110689750.4 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113264522B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘俊江;王焕明;许智;蒋晓磊 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B21/064;C01B25/00;C01B32/198;C01B32/15;C01B35/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种二维材料的转移方法，属于半导体材料领域。二维材料的转移方法包括：将生长基底有二维材料的一面与支撑层经胶层粘接，保持胶层具有流动性的条件下，于刻蚀液中去除生长基底后，刻蚀液中含有沸点低于胶层的固化温度的低沸点溶剂，在低于胶层的固化温度下加热，使低沸点溶剂转化为气态以撑开并消除二维材料的褶皱后，将二维材料背离支撑层的一面与目标基底结合，去除支撑层及胶层，实现二维材料从生长基底转移至目标基底。本申请通过上述特定的操作，不仅能够实现二维材料从生长基底转移至目标基底，还有效降低转移后的二维材料表面存在褶皱、破损的问题，且转移后的二维材料表面基本不存在胶层污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 材料 转移 方法 | ||
【主权项】：
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