[发明专利]一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法在审
| 申请号： | 202110692780.0 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113684535A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李东振;王东海;徐军 | 申请（专利权）人： | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 戴龙泽 |
| 地址： | 211200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置及生长方法，包括炉体，所述炉体两侧相对开门结构，采用板状石墨电阻加热器，石墨硬毡作为保温材料，整体热场为双温区结构，圆形坩埚四周有四片板状石墨加热器，为主加热区,包括以下步骤：步骤1：先装炉，然后对炉体内进行抽真空；步骤2：然后对炉体内进行充气，然后对炉体进行升温，实现蓝宝石的融化；步骤3：进行引晶和放肩至等径阶段，并持续到晶体生长完成；步骤4：然后对炉体进行原位退火，再降温至室温，然后取出晶体。本发明双温区的设计避免晶体应力过大产生位错，开裂等缺陷，避免高温下由于熔体温度波动导致晶体产生气泡，确保晶体的高质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 蓝宝石 板材 导模法 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
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