[发明专利]电容器的制造方法有效
| 申请号： | 202110693985.0 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113437050B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘自豪;吕佐文;陈敏腾 | 申请（专利权）人： | 福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H10N97/00;H01L21/82 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容器的制造方法，包括在衬底上依次形成下电极、第一电容介质层及上电极，其中，第一电容介质层的形成过程通过将衬底置于一腔体内腔体内可旋转的承载台上，并采用不同的旋转速度形成第一电容介质层的底层部分、中间部分及顶层部分至相应的厚度，使第一电容介质层的各部分的致密度不同，减少漏电流，提高电容器的电容值。进一步的，本发明中形成第一电容介质层的底层部分、中间部分及顶层部分的旋转速度依次增加，使第一电容介质层中各部分的致密度自下电极依次增加，减少漏电流的同时，第一电容介质层中各部分的阶梯覆盖能力依次增强，使其在具有高纵横比的电容器结构中分布更均匀，提高电容器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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