[发明专利]一种基于微波等离子体反应器合成金刚石的方法有效
| 申请号： | 202110695623.5 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113388885B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李庆利;甄西合;徐悟生;赵丽媛;朱逢锐;朱逢旭;杨春晖 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛本征晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/20;C30B25/16;C23C16/511;C23C16/27;C23C16/02 |
| 代理公司： | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙) 37234 | 代理人： | 孙俊业 |
| 地址： | 066000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种基于微波等离子体反应器合成金刚石的方法，包括以下步骤：步骤一：籽晶筛选；步骤二：籽晶预处理；步骤三：加工反应腔腔室；步骤四：防止籽晶；步骤五：调节反应气压，调节微波输入功率，激发等离子体；步骤六：调节所述第一升降器和第二升降器的高度；步骤七：调节功率和反应气压；步骤八：进行金刚石沉积；步骤九：关机处理。通过整体的方法控制，保证等离子球的稳定性，避免出现等离子体球上移的现象；反应气体能够在反应气压和功率数值比在2/1‑3/1区间内充分离解，生长的金刚石质量和速率明显提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微波 等离子体 反应器 合成 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
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