[发明专利]激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110696315.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113437637A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 黄雪琴 | 申请（专利权）人： | 中科皓玥(东莞)半导体科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/42 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 付兴奇 |
| 地址： | 523710 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种激光器及其制备方法，属于半导体激光器件技术领域。该激光器包括绝缘基板、金属柱、线路层和激光芯片。绝缘基板上设置有贯穿绝缘基板的导热通孔。金属柱设置于导热通孔内，且金属柱的导热效率高于绝缘基板的导热效率。线路层设置于绝缘基板的表面，且线路层覆盖金属柱，线路层上设置有置晶区。激光芯片设置于置晶区并与线路层电性连接。在绝缘基板内设置金属柱，且金属柱的导热效率高于绝缘基板的导热效率，可以使激光芯片的散热效果更好(相较于绝缘基板进行散热，添加金属柱以后散热效果更好)，以便高功率VCSEL器件的导热需求。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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