[发明专利]减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板在审
| 申请号： | 202110696983.7 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113658844A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 理查德·菲利普斯;瑞安·布拉基埃;尚卡·斯瓦米纳森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/44;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板。衬底处理系统包括处理室和喷头，喷头包括面板、杆部和圆柱形基部。轴环将喷头连接到处理室的顶表面。轴环限定接收二次吹扫气体的气体通道和沿着径向向外且向下的方向引导来自气体通道的二次吹扫气体的多个气体缝隙。锥形表面被布置成邻近圆柱形基部并且围绕喷头的杆部。倒锥形表面邻近处理室的顶表面和侧壁设置。锥形表面和倒锥形表面限定成角度的气体通道，成角度的气体通道从多个气体缝隙到限定在圆柱形基部的径向外部与处理室的侧壁之间的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 减少 衬底 处理 系统 再循环 锥形 喷头 顶板 | ||
【主权项】：
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