[发明专利]光电探测器频率响应测试装置及其测试方法有效

专利信息
申请号: 202110698092.5 申请日: 2021-06-23
公开(公告)号: CN113406388B 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 孙甲政;许博蕊;袁海庆;文花顺;祝宁华;李明 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01R23/14 分类号: G01R23/14;G01R23/17;G01R23/175;G01R23/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种光电探测器频率响应测试方法,包括:波形发生器向可调谐激光器提供方波调谐信号;可调谐激光器接收方波调谐信号,产生波长分别为λ1和λ2的激光;波长为λ1的激光经光耦合器输出频率为f1的光A;波长为λ2的激光经可调延时光纤输出频率为f2的光B;光A与光B的频率差Δf=f2‑f1;强度调制器同时接收光A与光B;微波信号源向强度调制器提供调制信号fm;强度调制器产生频率为f1±fm的±1阶边带和频率为f1+Δf±fm的±1阶边带;待测光电探测器对频率为f1+fm的+1阶边带与频率为f1+Δf‑fm的‑1阶边带拍频;待测光电探测器对频率为f1‑fm的‑1阶边带与频率为f1+Δf+fm的+1阶边带拍频;分别记录频率为2fm+Δf和频率为|Δf‑2fm|的谱线对应的功率,得到待测光电探测器在频率2fm+Δf和|Δf‑2fm|对应的频率响应。
搜索关键词: 光电 探测器 频率响应 测试 装置 及其 方法
【主权项】:
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