[发明专利]一种Fe-Ni-P合金电镀液、Fe-Ni-P合金镀层的电沉积方法及合金镀层在审
| 申请号： | 202110698679.6 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113737233A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 高丽茵;刘志权;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C25D3/56 | 分类号： | C25D3/56;C25D7/12;H05K1/11;H05K3/18 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 黎坚怡 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种Fe‑Ni‑P合金电镀液、Fe‑Ni‑P合金镀层的电沉积方法及合金镀层，属于电子制造技术领域。该电镀液包括主盐、络合剂以及水，络合剂包括双络合剂，双络合剂包括柠檬酸和氨三乙酸，或柠檬酸和氨三乙酸盐，或柠檬酸盐和氨三乙酸，或柠檬酸盐和氨三乙酸盐；双络合剂中，氨三乙酸或氨三乙酸盐的浓度与柠檬酸或柠檬酸盐的浓度之比为0.5～5；其中，柠檬酸或柠檬酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L，氨三乙酸或氨三乙酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L。本申请通过在电镀液中加入柠檬酸(盐)和氨三乙酸(盐)作为双络合剂，能够增加镀液的电化学极化程度，使制备的Fe‑Ni‑P合金镀层的矫顽力较低，镀层表面光亮、组织细致，可应用于微电子领域以及半导体功能器件等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fe ni 合金 电镀 镀层 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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