[发明专利]一种集成电路低温检测预冷箱装置及其使用方法有效
| 申请号： | 202110700556.1 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113359013B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 闫大为;姚锐;钟建强 | 申请（专利权）人： | 姚锐 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 张开 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路低温检测预冷箱装置及其使用方法，包括预冷箱盖板，所述预冷箱盖板的内部中端设置有转盘；TRAY盘，其设置于所述转盘的上端四周；滑台气缸，其设置于所述预冷箱盖板的外壁一侧；滑动密封机构，其设置于所述滑台气缸的外部一侧。该集成电路低温检测预冷箱装置及其使用方法，L型滑动门是方便自动化存取待检测的集成电路，L型滑动门是由安装在预冷箱腔体一侧滑台气缸控制，L型滑动门被滑台气缸驱动进行前后运动，实现自动取料、补料的同时，降少预冷箱腔体内部与外界的干涉，利用L型滑动门便于自动化取放IC，即当L型滑动门移动离开进出口时，机械手臂进行取放IC，完成取放IC后L型滑动门复位到进出口上方，进行密封。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 低温 检测 预冷 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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