[发明专利]主链可降解型光刻胶树脂单体及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110700753.3 申请日: 2021-06-24
公开(公告)号: CN113416177B 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 傅志伟;潘新刚;余文卿;陆伟;郭有壹 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07D319/12 分类号: C07D319/12;C08F222/20;G03F7/039
代理公司: 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 代理人: 王金良
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了主链可降解型光刻胶树脂单体及其制备方法和应用,所述主链可降解型光刻胶树脂单体的结构通式为:其中,R1为氢或者甲基,R2选自亚烷基、亚环烷基以及含酯基、碳酸酯基、醚基、酰胺基的连接基团。所述主链可降解型光刻胶树脂单体具有增加抗蚀性,改善树脂与晶圆的粘附性,增加在碱性显影液(通常为TMAH)中溶解,有利于改善边缘粗糙度,提高分辨率。
搜索关键词: 主链可 降解 光刻 树脂 单体 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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