[发明专利]一种掺氟二氧化锡薄膜的超声喷雾热分解制备方法在审
| 申请号： | 202110703578.3 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113481489A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 刘哲;李林森;盛立志;强鹏飞;周晓红;赵宝升 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 赵逸宸 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体薄膜的制备方法，具体涉及一种掺氟二氧化锡薄膜的超声喷雾热分解制备方法，用于解决现有利用超声喷雾热分解法制备的掺氟二氧化锡薄膜存在薄膜光电性能较差的不足之处。该掺氟二氧化锡薄膜的超声喷雾热分解制备方法包括步骤有：预处理、溶液配制、沉积薄膜、应力去除。本发明制备的薄膜在可见光范围内平均透过率达到80％以上，具有良好的光学性能，并且方块电阻最好可达25Ω/口，具有接近金属的良好导电性能，此外，薄膜附着力良好，具有很好的化学和热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺氟二 氧化 薄膜 超声 喷雾 分解 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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