[发明专利]一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统在审
| 申请号： | 202110704926.9 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113340911A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王馨莹;李伟;刘欣;孟鹏飞;王福旺;李立锋;宋思儒;林涛;陶平;田永军 | 申请（专利权）人： | 北京兆维电子（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01N21/892;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 朱晓彤 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统，包括驱动单元、成像旋转单元和无限远成像单元，驱动单元固定设置，用于带动待检测的产品绕竖直设置的轴水平转动，成像旋转单元和无限远成像单元架设在驱动单元的上方；无限远成像单元对产品进行成像，成像旋转单元用于在产品成像时旋转图像。本发明的有益效果是实现孔区弧周缺陷检测，同时克服矩形视野采集弧形目标时检测区域位置大小、重复区域不固定的缺点，光学检测的效率大大提高，且检测更为全面，检测的效果较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 缺陷 检测 显微 光学系统 | ||
【主权项】：
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