[发明专利]一种微型半导体发光器件及其制造方法在审
申请号: | 202110705796.0 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN113594307A | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 颜改革;谭胜友;朱酉良;蒋振宇;闫春辉 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/36;H01L33/38;H01L33/44;H01L33/48 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李庆波 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及半导体技术领域,特别是涉及一种微型半导体发光器件及其制造方法。该微型半导体发光器件包括:转移衬底;第一功能层,包括顺序连接的第一子部、第二子部和第三子部;第二功能层,包括顺序连接的第四子部、第五子部和第六子部;发光二极管;其中,第一子部与第四子部组成支撑部,二者依次层叠设置在转移衬底的一侧;第二子部与第五子部组成悬空薄壁部,二者依次层叠设置且与转移衬底无接触;第三子部、第六子部以及发光二极管组成悬空发光部且与转移衬底无接触;其中,支撑部的顶部高度小于或等于悬空发光部的底部高度,且悬空薄壁部的顶部高度小于或等于悬空发光部的底部高度。通过上述方式,能够提高悬空发光部转移的成功率。 | ||
搜索关键词: | 一种 微型 半导体 发光 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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