[发明专利]一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法在审
| 申请号： | 202110705873.2 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113446951A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 邵俊;朱锦新;徐森;孙久;王颖;钱月 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 马威 |
| 地址： | 224051 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。本发明通过同步驱动束斑测量组件和电子束输出组件，以实现束斑测量组件与电子束做同步运动，可以实时对扫描电子显微镜的电子束斑大小进行测量，简单方便，在拍摄图片时采用法拉第杯为图片背景，极大的提高了拍摄的对比度；采用微分曲线计算束斑的尺寸更加准确，可靠，从而具有操作简单，精度高，实用性强的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 电子显微镜 电子束 尺寸 方法 | ||
【主权项】：
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