[发明专利]一种基于多层氧化物薄膜结构的折射率传感器在审
| 申请号： | 202110708501.5 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113447459A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 韩程章;张清悦;王霞 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/01 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 韩丽萍 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于多层氧化物薄膜结构的折射率传感器，所述的传感器从下到上包括棱镜、第一层氧化物薄膜、第二层氧化物薄膜和第三层氧化物薄膜。本发明所述的传感器由氧化物薄膜构成，具有结构简单，性能稳定，加工制备过程容易，成本低等优点。本发明所述的传感器具有很高的灵敏度，强度灵敏度可以达到5.69×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 多层 氧化物 薄膜 结构 折射率 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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