[发明专利]半导体行业洁净室内空气监测系统及方法在审
| 申请号： | 202110710266.5 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113514598A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 姚则庆;胡建坤;夏晓峰;卢水淼;张冰冰;朱小炜;刘昌盛 | 申请（专利权）人： | 杭州谱育科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/96 | 分类号： | G01N30/96;G01N30/06;G01N30/08;G01N30/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了半导体行业洁净室内空气监测系统及方法，半导体行业洁净室内空气监测系统包括标液提供装置和检测装置；富集装置包括：多个管道的进口端分别设置在不同的洁净室内，出口端连通密闭容器；密闭容器的出口选择性地连通大气和抽气单元；液体提供单元用于提供吸收所述洁净室内待测成分的液体，并输送到所述密闭容器内，排废单元用于排出所述密闭容器内的液体；第一流路切换模块用于使所述密闭容器选择性地连通任一个洁净室；进样装置包括：第二流路切换模块用于使第一多通阀的端口选择性地连通所述标液提供装置和所述密闭容器；定量单元和检测装置分别连通第一多通阀的端口。本发明具有富集与检测同步进行、分析效率高，实时性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 行业 洁净 室内空气 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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