[发明专利]石墨基板有效
| 申请号： | 202110710611.5 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113652743B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;梅劲;肖云飞;陆香花;陈张笑雄 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/18;C30B28/14;C30B29/40;H01L21/673;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种石墨基板，属于半导体技术领域。所述石墨基板的上表面具有用于容纳衬底的多圈凹槽，每圈所述凹槽均包括沿所述石墨基板的周向布置的多个凹槽，所述石墨基板的上表面层叠铺设有至少一层凸起，每层所述凸起均为圆形，且每层所述凸起的外周壁均呈波纹状，所述至少一层凸起与所述石墨基板同轴，且所述至少一层凸起的直径小于所述石墨基板的直径，所述至少一层凸起铺设在所述石墨基板的上表面以及所述多个凹槽的槽底和槽壁上。在本公开提供的石墨基板上生长外延片，可以使得外延片各个区域的发光波长一致，从而可以提高外延片的片内均匀性，保证边缘良率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 | ||
【主权项】：
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