[发明专利]一种MPCVD设备天线装置在审
| 申请号： | 202110715634.5 | 申请日： | 2021-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN113363697A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵俊芳;郭志刚;刘永宁 | 申请（专利权）人： | 碳方程新材料（山西）有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/00 | 分类号： | H01Q1/00;H01Q1/12;H01Q1/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 046000 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MPCVD设备天线装置，包括天线本体，所述天线本体顶部设置有盖板，所述盖板与天线本体之间形成密闭的容纳空腔，所述天线本体顶部沿轴心处设置有进水通道，进水通道外侧设置有独立的出水通道，通过进水通道向天线本体内壁注水对天线本体冷却并且通过出水通道排出用于冷却天线本体；密封空腔内部的水可以通过中壁管与外壁管之间的出水通道向上流动，从而经过出水块上的出水卡套接头向外排出，可以充分对天线本体进行冷却和降温，由于天线本体设置为倒锥形，在实际使用时，微波反馈低，微波传导损耗小，获得的等离子火焰能量密度大，对称性好，并且温度分布均匀，获得的等离子火焰可控性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 设备 天线 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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