[发明专利]一种光刻胶及图案化方法有效
| 申请号： | 202110716154.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113341651B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张腾;刘洪雷;胡凡华;朴大然;卢克军;张宁 | 申请（专利权）人： | 北京北旭电子材料有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光刻胶及图案化方法，属于光刻技术领域。光刻胶包括酚醛树脂和感光剂，感光剂包括第一感光物质和第二感光物质，第一感光物质为多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物，第二感光物质为酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物。该酚醛树脂型光刻胶能够兼具较好的分辨率以及抗干刻性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 图案 方法 | ||
【主权项】：
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