[发明专利]掩膜板的清洗设备有效
| 申请号： | 202110718439.8 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113426752B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 杨卓 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种掩膜板的清洗设备。该清洗设备的槽体组件包括清洗槽及溢流槽，循环过滤组件与清洗槽及溶剂回收组件连接，用于向清洗槽供给清洗溶剂，并且能使清洗溶剂在清洗槽内循环流动；杂质吸附组件包括第一吸附装置及第二吸附装置中的至少一种，第一吸附装置设置于清洗槽与循环过滤组件之间，用于对清洗槽流出的清洗溶剂进行杂质吸附；第二吸附装置设置于溢流槽及溶剂回收组件之间，用于对溢流槽流出的清洗溶剂进行杂质吸附；溶剂回收组件用于回收溢流槽的清洗溶剂，并且通过循环过滤组件向清洗槽供给清洗溶剂，以及溶剂回收组件与一供给源连接，用于通过循环过滤组件向清洗槽供给清洗溶剂。本申请实施例能使掩膜板的清洗满足指标。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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