[发明专利]一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统及方法有效
| 申请号： | 202110722912.X | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113342094B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王永峰;张跃飞;唐亮;张宜旭;陈居田;佟翔宇;刘轩石 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30;H01J37/22 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杨媛媛 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统及方法，系统包括：热电子采集装置、嵌入式系统、电位平衡模块和加热器模块；嵌入式系统和电位平衡模块均设置在扫描电镜真空腔室外；热电子采集装置、加热器模块均设置在扫描电镜真空腔室内；热电子采集装置分别与嵌入式系统和加热器模块连接；电位平衡模块与嵌入式系统连接；电位平衡模块还与加热器模块连接；嵌入式系统用于根据热电子电压输出不同部位的热电子屏蔽电压指令至电位平衡模块；电位平衡模块用于输出热电子屏蔽电压至加热器模块。本发明能够提高扫描电镜在高温环境中的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 高温 成像 加热器 多点 电位 平衡 系统 方法 | ||
【主权项】：
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