[发明专利]MEMS麦克风及其制作方法有效
| 申请号： | 202110728000.3 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113365197B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 周宗燐;卓彥萱;邱冠勋;王喆 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00;H04R31/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 张娓娓;袁文婷 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风及其制作方法，其中MEMS麦克风包括由外壳和基板形成的封装结构，在封装结构内部设置有MEMS芯片，MEMS芯片包括基底、设置在基底上的振膜、背极，基底包括连接柱和位于连接柱内部的中央柱，连接柱与中央柱在基底上形成背洞，在位于中央柱上方位置的振膜上设置有通孔，通孔用于释放振膜的中间区域的拘束；在背极上设置有用于限位振膜向上运动的限位件，中央柱用于限位振膜向下运动的范围，限位件与中央柱共同限位振膜在外部声压的作用下的位移量。利用本发明，能够解决由于现有的MEMS麦克风结构中在MEMS芯片的振膜过大变形在中心区域及四周边缘位置产生应力从而影响MEMS麦克风性能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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