[发明专利]一种导电TeOX有效

专利信息
申请号: 202110728658.4 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113666717B 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 吴彩红;文崇斌 申请(专利权)人: 先导薄膜材料有限公司
主分类号: C04B35/01 分类号: C04B35/01;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/35
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 230012 安徽省合肥*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种导电TeOX旋转靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将Te粉末和TeO2粉末混合均匀,得到混合料;(2)将石墨模具喷上脱模剂后再涂抹上一层氮化硼粉体,然后将步骤(1)得到的混合料装入石墨模具中进行热压,降温出炉,即得TeOX旋转靶材。本发明同时提出采用该制备方法所制备得到的TeOX旋转靶材。TeO2在高温下会与具有还原性的脱模剂反应,因此本发明在脱模剂与粉体的接触面涂抹了一层氮化硼粉体。通过本发明的方法制备得到的靶材,其相对密度大于90%、纯度大于5N、电阻率小于2000Ω•cm。
搜索关键词: 一种 导电 teo base sub
【主权项】:
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