[发明专利]基于电场几何效应的微电流检测器件及微电流测量方法有效

专利信息
申请号: 202110729323.4 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113325220B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 朴红光;苏涛涛;黄玥;吕宗飞;张宏艳;覃剑铭;李昌锋;杨宏国;马晓萍;潘礼庆;王磊;刘磊;熊伟 申请(专利权)人: 三峡大学
主分类号: G01R19/00 分类号: G01R19/00
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 吴思高
地址: 443002 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 基于电场几何效应的微电流检测器件及微电流测量方法,该检测器件包括本征半导体,在本征半导体上制作四个具有几何结构布局的欧姆接触型点电极:电极A、电极B、电极C、电极D;电极A、电极B,通入稳恒电流,用于在本征半导体内部形成非均匀电场分布;电极C、电极D,通入微电流并检测。本发明微电流检测器件设计结构简单,可有效地避免复杂结构引起的噪声干扰。本发明不仅有利于提高微弱电流检测精度,而且可集成于半导体薄膜材料微器件,有利于实现具备自检测功能的器件小型化。
搜索关键词: 基于 电场 几何 效应 电流 检测 器件 测量方法
【主权项】:
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