[发明专利]一种自驱动湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110730961.8 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113311024B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王玉生;孙宝全 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;H02N1/04 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王广浩 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种自驱动湿度传感器及其制备方法，该自驱动湿度传感器包括半导体基底，半导体基底的正面刻蚀有纳米结构，半导体基底的正面围绕纳米结构制备有介电层，介电层上制备有悬浮电极，悬浮电极与纳米结构之间设有间隙，悬浮电极上位于所述纳米结构上方刻蚀有孔道结构，半导体基底的背面制备有底电极，底电极和悬浮电极上均连接有导线。本发明的湿度传感器无需额外电源，可实现湿度相关电信号的直接输出。本发明湿度传感器的自驱动特性使得该传感器对湿度的响应速度很快，达到毫秒级别。本发明的湿度传感器结构简单，有利于降低生产成本，且与传统半导体工艺相兼容，有利于产品集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学，未经苏州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110730961.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
