[发明专利]冷却装置及其冷却方法有效
| 申请号： | 202110734701.8 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113463021B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 杨超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;F25D31/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何志军 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种冷却装置及其冷却方法；该冷却装置应用于蒸镀设备，该冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与该支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与该主体部件连接且设置于该主体部件远离该热交换构件的一侧，该弹性部件用于与待冷却构件接触；其中，该弹性部件与该主体部件构成闭合结构；本发明实施例通过将冷却装置的贴合一侧设置为弹性部件，在对基板进行蒸镀时，减少了冷却装置对基板的划伤，加强冷却装置与基板的贴合，提高了对基板的工艺精度。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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