[发明专利]金属掩模的张网装置及其方法、张网设备在审
| 申请号： | 202110736545.9 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115537717A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 黄元昊;魏柏林;周畅;徐兵 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 岳晓萍 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，该金属掩模的张网装置包括多个夹持拉伸模块和多个第一运动机构；夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；夹持单元、柔性单元和拉伸单元沿第一方向依次排列；拉伸单元设置于第一运动机构上；第一运动机构带动拉伸单元沿第一方向和/或第二方向运动；夹持单元用于夹持并固定位于金属掩模张网区的金属掩模；位移检测单元用于检测对应的拉伸单元的位移信息；其中，各第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一第一运动机构在第一方向上的运动状态与其在第二方向上的运动状态相互独立。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 装置 及其 方法 设备 | ||
【主权项】：
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