[发明专利]嵌套式扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 202110737437.3 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113406360B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 郭颖;张徐开;王佳丽;赵兴强 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;H02N2/00;H02N2/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜，包括壳体，还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头；步进马达安装于壳体内壁，绝缘管周向设置于步进马达内壁上；绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件，绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合；扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端，测试端包括用于扫描样品的探针；步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果，且具有抗干扰、高度对称性特点，能够减少温度变化引起的热漂移，提高扫描成像的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌套 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110737437.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：数据处理方法、装置、设备及介质
- 下一篇：一种双载车板同时交换的圆形立体车库
