[发明专利]自动物料传输系统及自动化物料传输方法有效
| 申请号： | 202110748236.3 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113401677B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陈力钧;戴骁超;桂纯钦;杨磊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G63/00 | 分类号： | B65G63/00;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自动物料传输系统及自动化物料传输方法，包括机台、终端设备、天车和自动搬送轨道，所述天车为多个且用于在所述自动搬送轨道上运行，所述终端设备用于控制晶圆的自动化加工，每个所述天车能够将其位置信息发送给所述终端设备，所述终端设备可根据各所述天车所发送的位置信息获取天车的拥堵状态。本发明可提升天车在各机台之间的搬运效率，并同时提高各机台装载端口的使用率，进而可提高物料的搬运效率，降低天车的堵车风险，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 物料 传输 系统 自动化 方法 | ||
【主权项】：
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