[发明专利]一种红外探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110748254.1 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN113571600B 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 张玉萍;冯叶;杨春雷;张陈斌;彭燕君;杨佳伟 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/115;H01L31/0352
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 魏毅宏
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供的短波红外探测器的制备方法,包括下述步骤:在基底上制备底电极,在所述底电极上制备吸收层,在所述吸收层上制备缓冲层,在所述缓冲层上制备窗口层,其中,在所述吸收层上制备缓冲层,具体包括:将分散于有机溶液中的量子点溶液,滴在所述吸收层上,并进行旋涂后加热至100‑150摄氏度退火2‑3min,得到所述缓冲层,本申请提供的短波红外探测器的制备方法,通过量子点旋涂制备缓冲层,获得与前驱体、高阻层晶格更匹配的缓冲层,形成更优异的P‑N结,降低器件的暗电流,提高量子效率,获得性能更好的短波红外探测器。另外,本发明还提供了一种短波红外探测器。
搜索关键词: 一种 红外探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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