[发明专利]废气处理装置及其排气湿度控制方法有效
| 申请号： | 202110750312.4 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113413746B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 杨春涛;杨春水;张坤;王继飞 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/18;B01D53/14;B01D53/30 |
| 代理公司： | 北京乾成律信知识产权代理有限公司 11927 | 代理人： | 姚志远;李昕巍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。一种废气处理装置包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。本申请的废气处理装置通过增加排气管路的气体水分监测，使用调节阀调节水路喷淋的开度，从而控制管路的喷水量，控制排气湿度在合理标准以下。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 装置 及其 排气 湿度 控制 方法 | ||
【主权项】：
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