[发明专利]晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置在审
| 申请号： | 202110753147.8 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN115565589A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王世生 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/08 | 分类号： | G11C29/08;G11C29/00;G06Q10/0639;G11C29/44 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;黄健 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置，获取多个晶圆颗粒的分bin结果，根据分bin结果确定至少两个重要bin，根据重要bin的取值形成多个bin组合，根据多个晶圆颗粒的分bin结果，确定每个bin组合的无效晶圆颗粒的PPM以及PPM的置信区间最大值，根据多个bin组合的PPM的置信区间最大值的大小，确定每个bin组合对应的晶圆颗粒质量等级。该方式通过对大量晶圆颗粒的分bin结果进行统计分析，获得重要bin组成的bin组合，并形成bin组合与晶圆颗粒的质量等级的对应关系，后续根据该对应关系预测待分类晶圆颗粒的质量等级，该方式对晶圆颗粒的质量等级的预测效率更高，且预测准确率也更高。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 质量 等级 确定 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110753147.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：测试信号的时间补偿方法及装置
- 下一篇：一种混合动力变速箱液压系统
