[发明专利]一种极性可调的晶体管及其制备方法在审
申请号: | 202110753624.0 | 申请日: | 2021-07-02 |
公开(公告)号: | CN113488535A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 肖静;李红卫 | 申请(专利权)人: | 泰山学院 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/06;H01L21/335 |
代理公司: | 广州专才专利代理事务所(普通合伙) 44679 | 代理人: | 林玲 |
地址: | 271000*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供了一种极性可调的晶体管,包括源极、漏极、栅极、介电层和n型二维半导体层,所述介电层设于栅极上,所述n型二维半导体层设于介电层上,所述源极及漏极均设于二维半导体层上,且所述源极和漏极通过n型二维半导体层连接;所述n型二维半导体层上还设有超薄p型有机层,所述超薄p型有机层设于源极与漏极之间。本发明极性可调的晶体管利用超薄p型有机层修饰n型二维半导体层表面,实现n型半导体到p型半导体或双极型的转换。本发明还提供了极性可调的晶体管的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 极性 可调 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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