[发明专利]一种电化学蚀刻实验装置有效

专利信息
申请号: 202110754057.0 申请日: 2021-07-04
公开(公告)号: CN113584570B 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 郑秀文;魏秋连 申请(专利权)人: 山东科技大学
主分类号: C25F7/00 分类号: C25F7/00;C25F3/02
代理公司: 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 代理人: 高倩倩
地址: 266590 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及电化学蚀刻实验技术领域,具体为一种电化学蚀刻实验装置,包括蚀刻槽,位于蚀刻槽的外侧的蚀刻电源和高度计,以及位于蚀刻槽的内部的阴极座和阳极座,阳极座的底部固定连接有支承板,支承板可拆卸连接有阳极,蚀刻槽设有驱动支承板升降的升降机构,以及驱动支承板从竖直状态翻转到水平状态的翻转机构;蚀刻槽的外侧设有热风机,热风机的出口端连接有送风软管,阳极座内开设有空腔,送风软管的一端与空腔连通,阳极座固定连接有与空腔连通的气刀。本发明在记录蚀刻深度时,实验人员不会直接地接触到阳极或蚀刻液,实验记录安全可靠,阳极可以快速烘干,节省阳极实验后处理的时间,实验记录操作简单。
搜索关键词: 一种 电化学 蚀刻 实验 装置
【主权项】:
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