[发明专利]一种用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴

摘要

本申请涉及测量控制技术领域，具体而言，涉及一种用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴，包括气体质量流量控制器本体和喷嘴，喷嘴与气体质量流量控制器本体一体成型，其中：气体质量流量控制器本体内部设置有气体通道；喷嘴包括微气孔、分流槽以及密封装置；分流槽设置在质量流量控制器本体的上表面，气体通道与分流槽连通；微气孔设置在分流槽的中心位置，微气孔的下方通过密封装置与气体通道连通。本发明结构简单，加工工艺成本较低，有效的避免了传统喷嘴由于分体设计而导致的气路密封问题、金属镜面抛光等复杂的加工工艺问题，并且在实现了气体均衡，实现了微气孔的快速加工，大大降低了加工难度。