[发明专利]一种电加热式半导体废气处理设备及其降温的方法有效
| 申请号： | 202110757916.1 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113426240B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 杨春涛;杨春水;张坤;陈彦岗 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/74;B01D53/34 |
| 代理公司： | 北京乾成律信知识产权代理有限公司 11927 | 代理人： | 王月春;苏捷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种电加热式半导体废气处理设备及其降温的方法，电加热式半导体废气处理设备包括：反应腔，用于使半导体废气在其内反应；第一冷却器，所述第一冷却器环绕设置于所述反应腔的外壁上，且连通于所述反应腔内部；第二冷却器，所述第二冷却器环绕设置于所述第一冷却器的外壁上。本申请的技术方案实现了电加热式半导体废气处理设备快速降温，从而缩短了设备的维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 半导体 废气 处理 设备 及其 降温 方法 | ||
【主权项】：
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