[发明专利]一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材在审
| 申请号： | 202110758654.0 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113481475A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周敏 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21J5/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材，所述方法包括以下步骤：(1)在400‑500℃下对钛靶材进行预热；(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10‑20μm的钛靶材。本发明提供的方法专用于钛靶材的晶粒细化，改善了钛靶材溅射性能和溅射环境，提升了镀膜质量的同时简化了工艺流程，降低了加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 晶粒 细化 方法 | ||
【主权项】：
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