[发明专利]一种耐腐蚀绝缘掩膜版及其制作方法在审
| 申请号： | 202110760771.0 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113463022A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨波 | 申请（专利权）人： | 江苏高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C4/131;C23C4/06;C23C4/129;H01L21/32;H01L27/32 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 212400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种耐腐蚀绝缘掩膜版，包括掩膜版和掩膜版金属框架，所述掩膜版包括多根横条和多根纵条；所述横条与所述纵条之间为正交关系且所述横条与所述纵条交汇形成多个蒸镀区域，每个所述横条与每个所述纵条的两端都设有轴突，所述掩膜版金属框架上设有与所述轴突配合使用的焊接槽，本发明设计的金属掩膜版横条和纵条正交的结构可以使得张网机对每个轴突进行拉伸的，这种正交轴结构的掩膜版可以使得掩膜版各个方向拉伸更均匀，从而提高张网机的张网良率，本发明针对掩膜版与金属框架的焊接部位进行了防腐蚀绝缘镀膜，可以防止焊接处发生腐蚀，从而防止掩膜版反复使用后掩膜版发生脱落以及产生杂质影响掩膜版蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 绝缘 掩膜版 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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