[发明专利]一种太赫兹探测器在审

专利信息
申请号: 202110761673.9 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113540260A 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 李浩文;周靖;陈效双;夏国强;付兰克 申请(专利权)人: 深圳网联光仪科技有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/032;H01L31/115;H01L31/18;G02B5/00
代理公司: 深圳市特讯知识产权代理事务所(普通合伙) 44653 代理人: 孟智广
地址: 518000 广东省深圳市坪山区坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种太赫兹探测器,包括:衬底层;设置在所述衬底层之上的金属反射层;设置在所述金属反射层之上的介电间隔层;对称设置在所述介电间隔层之上的第一狄拉克半金属层和第二狄拉克半金属层;以及设置在所述介电间隔层之上且位于所述第一狄拉克半金属层和所述第二狄拉克半金属层之间的金属光栅层。本发明的太赫兹探测器通过设计各向异性的光学天线与狄拉克半金属层的复合结构,基于等离激元谐振腔的高偏振辨别激发、阻抗匹配耦合,把偏振方向垂直于金属光栅的入射光高效地转化成为与狄拉克半金属层充分交叠的亚波长强光场,大幅提高狄拉克半金属层的光吸收和光响应,器件具有更高偏振消光比、更高集成度、更高响应率和更低的功耗。
搜索关键词: 一种 赫兹 探测器
【主权项】:
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