[发明专利]吸盘结构成型模具的制备方法和吸盘结构的制备方法在审
| 申请号： | 202110768773.4 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113651289A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑德印;王玮 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种吸盘结构成型模具的制备方法，该方法采用电化学腐蚀工艺对中度掺杂硅衬底上的微纳结构阵列进行各向同性抛光，从而将微纳结构阵列转化为吸盘阵列。由该方法制得的吸盘阵列一致性好，并且通过调节电化学腐蚀的腐蚀电流和腐蚀时间，可以方便地调节吸盘阵列的尺寸。本发明还涉及一种吸盘结构的制备方法，该方法利用所述吸盘结构成型模具通过两次翻模工艺即可制备出吸盘结构，重复性好、工艺简单、耗时较短且批量加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 结构 成型 模具 制备 方法 | ||
【主权项】：
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