[发明专利]一种使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置

摘要

一种使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，涉及人工晶体制备领域，本发明通过在坩埚（9）的上方设置硅芯成型机构（4），在硅芯成型机构的上方设置籽晶夹头（2），通过在硅芯成型机构上设置多个拉制孔（406），并通过冷却介质对硅芯成型机构底面以上的空间冷却形成低温区，即形成下高上低的温度梯度，同时还可以实现降低硅芯成型机构底面硅料融液的温度，增加硅料融液的粘稠度，利于硅料融液跟随籽晶结晶，可以对硅芯（13）进行冷却，进而提高硅芯的拉制速度及降低拉制硅芯的椭圆度，本发明在实现多根硅芯同时拉制的同时还可以提高硅芯的拉制速度，有效的避免了碎硅料的资源浪费，适合大范围的推广和应用。