[发明专利]一种三氯氢硅质量检测方法、提纯控制方法及装置有效
| 申请号： | 202110774793.2 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113233468B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴锋;田新;王付刚;孙江桥;赵培芝 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D3/14;B01D3/42;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 11813 | 代理人： | 倪青华 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料测试分析技术领域，特别涉及一种三氯氢硅质量检测方法，应用于通过多级精馏塔对三氯氢硅进行多级精馏的过程中，包括：至少在最末级精馏塔的塔釜出料处设置CVD检验炉，使得部分三氯氢硅硅芯在CVD检验炉中沉积生长多晶硅棒，通过CVD检验炉中的多晶硅棒对三氯氢硅的质量进行检测。本发明中，因为CVD检验炉仅仅供部分三氯氢硅硅芯沉积生长，相比于还原炉体积更小，受到的外部干扰因素更少，程度也更加轻微，质量波动更小，因此可以较为精确的表征出三氯氢硅的质量。同时，本发明中还请求保护一种三氯氢硅提纯控制方法及装置，具有同样的技术效果，同时还可大幅提高精馏后段的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 质量 检测 方法 提纯 控制 装置 | ||
【主权项】：
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