[发明专利]一种激光位移传感器自动化标定装置及方法在审
| 申请号： | 202110775557.2 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113608198A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 刘钧;居冰峰;张文浩;戴霖;陈旺 | 申请（专利权）人： | 苏州创视智能技术有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/497 | 分类号： | G01S7/497 |
| 代理公司： | 北京汇智胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11346 | 代理人： | 魏秀莉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种激光位移传感器自动化标定装置及方法，在运动台面两侧分别布置激光位移传感器与激光干涉仪，并在运动台面上布置光束分析仪以实现光斑测量，标定时，控制标准被测物由量程近端向量程远端步进运动，记录每个采样位置下的激光位移传感器数据、激光干涉仪数据以及光束分析仪数据，完成全量程扫描后，根据不同位置的激光位移传感器读数与激光干涉仪读数计算出线性偏差，以生成标定表进行校准；根据不同位置的截面光斑数据拟合出测量光束的形状及方向，以调整焦点、方向等参数。本发明可实现激光位移传感器的线性偏差与光束形状的单次扫描同时测量，适用于各种量程的激光位移传感器的标定，可显著提升标定精度与生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 位移 传感器 自动化 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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